Caracteristici:
- Analiza imaginii cu electroni secundari (SEI) rezoluţie până la 4.0 nm (la 25kV în vid înaintat), domeniul de mărire 15x…300.000x, tensiunea de accelerare 0,5kV…30kV;
- Analiza imaginii cu electroni retroîmprăştiaţi (BSE) rezoluţie până la 5.0 nm (la 25kV în presiune variabilă), domeniul de presiune 1…270 Pa, domeniul de mărire 15x…300.000x;
- Microanaliza calitativa si cantitativa prin spectrometrie de raze X ispersive in energie (EDS).